Filtration Halbleiterherstellung, für die Prozesse bei der Herstellung von Wafer liefern alle Standardmembranen;
- Hydrophiles PTFE, Hydrophobes PTFE, Nylon 66, PES, UPE
- Body aus PP, HDPE oder PFA
- Abscheideleistungen von 1 Mikrometer bis 3 Nanometer (0,03µm)
Wir fokussieren uns ausschließlich auf Kerzenfilter, für:
- Photolithographie
- WetEtch and Clean
- CMP
- BulkChemicals
- DI-und UPW-Wasser
Wir definieren die extrahierbaren Anteile zwar immer noch in ppb, streben aber ppt an.
Dies wird in absehbarer Zeit erreicht sein, da Anwender in Korea, Japan und Taiwan ppt-Werte verlangen. Wir arbeiten mit unserem Partner CSM Korea daran.
Bei CMP-Filtern für CMP-Slurries sticht die Kompetenz unseres Lieferanten CSM hervor. Er stellt die spezifischen Polypropylen-Filtervliesstoffe in seinen Anlagen intern her und kann sie so konfigurieren, kombinieren und optimieren, dass die CMP-Filter von CSM zweifellos jedem Vergleich mit den Marktführern standhalten. Die Porengrößen reichen von 40 Nanometer (0,04 µm) bis 7 Mikrometer.
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