Halbleiter

Wir liefern alle Standardmembranen;

Hydrophiles PTFE, Hydrophobes PTFE, Nylon 66, PES, UPE

mit Kern, Mantel und Endkappen aus PP, HDPE oder PFA;

und Abscheideleistungen von 1 Mikrometer bis 3 Nanometer

Wir konzentrieren uns ausschließlich auf Kerzenfilter, für:

  • Photolithographie
  • WetEtch and Clean
  • CMP
  • BulkChemicals
  • DI-und UPW-Wasser

Wir definieren die extrahierbaren Anteile immer noch in ppb, wir streben aber nach ppt. Dieses wird in absehbarer Zukunft erreicht. Kunden in Korea, Japan und Taiwan fordern diese ppt-Werte.

Bei CMP-Filtern für CMP-Slurries sticht die Kompetenz unseres Lieferanten CSM hervor. Er stellt mit seinen Maschinen die spezifischen Polypropylen-Filtermedien intern her, die er so konfigurieren kann, dass CMP-Filter von CMS zweifellos jedem Vergleich mit den Marktführern standhalten. Porengrößen von 70 nm bis 7 μm.