Membran-Filterkerzen

UPE

Membranfilterkerzen UPE mit der hydrophoben UPE-Membran (UHMW-PE) zeichnet sich durch ihre sehr niedrigen Extraktionswerte aus. Sie erfüllt kritische Reinheitsanforderungen, bietet eine gleichbleibende Filterleistung und reduziert effektiv Wafer Defects bis 5 nm!

UPE-Membranfilterkerzen werden nur von einer begrenzten Zahl von Herstellern produziert und kommen bei der Chipherstellung zum Einsatz. 

Welche Vorteile bieten wir Ihnen ?

  • kurze Lieferzeiten, auf Kontraktbasis Sicherheitsbestände und Abrufaufträge
  • entsprechend kostengünstigere Alternativen
  • CSM hat als Koreanischer Hersteller eine große Erfahrung in diesem Bereich und beliefert führende Chip-Herstellerin Asien.

Die UPE-Membranfilter werden eingesetzt als hochleistungs-Filter für Photoresist und hochreine Chemikalien/Lösungsmittel.

Hergestellt in Reinraum
Metal Ion Extraction Test Data (Extractables) sind verfügbar
Optional : Reinstwasser gespült

Suchen Sie eine Alternative zu einem Hersteller?
Dann stellen wir Ihnen Muster zur Verfügung. So können Sie die Leistung vergleichen.

Filterfläche in m2/ 10 Zoll Länge 1,1 bis 1,3
Abmessungen
Außendurchmesser 70 mm
Längen in Zoll (inch) 10, 20
Max. Druckdifferenz bei 20°C 3 bar
Max. Temperatur 60°C
Materialien
Membrane UPE (UHMW-PE)
Stützschichten HDPE
Endkappen, Kern, Stützkörper HDPE
O-ringe und Flachdichtungen FEP
Porengröße in nm (nanometer) 5
10
20
50
100
200
Adapter Einseitig offen, flache Endkappe und 222 O-ringe